隨著制造工藝的更新?lián)Q代,半導體的電路線寬越微細化,目前**進的是7納米(納米為10億分之1米),5nm工藝的芯片正式生產(chǎn)也已經(jīng)提上日程。半導體線路越細微化性能越會提高,耗電量也將降低,但同時生產(chǎn)將會有很大的難度,如果出現(xiàn)細微的缺陷,半導體的電路就無法正常形成。
半導體制造工藝的精細化,相應(yīng)半導體缺陷檢測難度也越困難。微米級電子半導體最常使用的是X-ray實時成像檢測裝備,從檢測圖像中找到缺陷位置,但由于電子元件越做越小,所以對X-ray檢測設(shè)備的分辨率和放大倍率要求很高。目前精度**的是半導體CT檢測設(shè)備,它與X-ray設(shè)備檢測原理相同,但CT設(shè)備的檢測精度會更高,并且它的檢測圖像是三維的,通過對被測物體進行360度旋轉(zhuǎn)獲取成百上千張二維數(shù)字成像投影并通過特定的算法將其重建為三維體積圖像,用戶可以對三維體積進行任意角度的觀察和切片。
X射線檢測裝備主要是檢測半導體接線處的焊接問題,焊接容易出現(xiàn)虛焊、漏焊等缺陷,一旦形成這些缺陷,半導體就容易出現(xiàn)短路等問題,為了半導體元件的正常使用,在焊接完成后需要進行缺陷檢測。隨著半導體生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展,X射線檢測裝備也在不斷研發(fā)升級,致力于為電子制造商提供優(yōu)質(zhì)的檢測裝備。
納米級芯片檢測目前X射線檢測裝備還無法達到檢測要求,但為了適應(yīng)科技的發(fā)展,各類缺陷檢測手段一定會應(yīng)運而生,用來更好的服務(wù)產(chǎn)品和企業(yè)。
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