隨著制造工藝的升級,半導體電路的線寬變得越來越細。當前,**進的是7納米(納米是10億分之一米),正式生產5nm工藝芯片也在議程中。半導體電路越細,性能越好,功耗降低,但是同時生產將非常困難。如果存在較小的缺陷,則不能正常形成半導體電路。
隨著半導體制造工藝的改進,檢測半導體缺陷變得更加困難。微米級電子半導體通常使用X射線實時成像檢查設備從檢查圖像中查找缺陷位置。但是,由于電子部件越來越小,因此對X射線檢查設備的分辨率和放大倍數的要求很高。 目前,精度**的半導體CT檢查設備與X射線設備的檢測原理相同,但CT設備的檢測精度會更高,其檢查圖像是三維的,是通過旋轉獲得被測物體360度的檢測圖像。通過特定算法將數十萬個二維數字成像投影重建為三維體圖像,用戶可以在任何角度觀察和切割三維體積。
CT檢查圖像
X射線檢查設備主要用于檢測半導體布線處的焊接問題。焊接容易產生虛假焊接和漏焊等缺陷,一旦形成這些缺陷,半導體就容易發生短路和其他問題。為了正常使用半導體元件,必須在焊接完成后使用X射線缺陷檢測。隨著半導體生產技術的發展,X射線檢查設備也在不斷開發和升級,并致力于為電子制造商提供高質量的檢查設備。
納米芯片檢查目前無法滿足X射線檢查設備的檢查要求,但隨著科學技術的發展,各種缺陷檢測方法必將出現,以更好地服務于產品和企業。
日聯科技的X射線檢測設備基于高分辨率成像技術,在較大工作距離處的高分辨率成像技術可以對較大和較密的樣品(包括零件和設備)執行無損高分辨率3D成像。此外,可選的平板檢測器可以快速宏觀地掃描大體積樣品,提供定位導航以掃描樣品內部感興趣的區域。日聯科技秉承誠信,開拓,卓越,“陽光,正直,學習,感恩”的核心價值觀,不斷為客戶和合作伙伴提供專業,高效,優質的品牌影響力。
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